一种部分补偿非球面反射镜面形检测方法

本申请公开了一种部分补偿非球面反射镜面形检测方法，涉及非球面反射镜面形检测领域，其包括基础数据确认步骤、非球面数据分析步骤、设计参数获取步骤、部分补偿镜确立步骤、干涉条纹信息获取步骤和面形误差分析步骤，通过部分补偿非球面反射镜面形检测技术利用补偿器对非球面的进行部分补偿，使得检测光路近似于理想光路，从而显著提高检测精度，本发明通过部分补偿非球面反射镜面形检测技术的研究和应用推动了光学技术的发展。随着该技术的不断完善和普及，将有更多的光学系统采用非球面反射镜作为关键元件，从而推动整个光学行业的进步和发展。