摘要
本申请公开了一种快速预测激光清除碎片中冲量的方法及系统,属于激光微推进领域。其中方法包括:同步采集激光烧蚀靶材的冲量数据与多波长光谱强度数据;在数据预处理后形成有效数据集,构建用于冲量预测的机器学习模型,利用有效数据集进行训练,计算该模型的最佳模型参数组合以及最佳谱线预测组合;在激光清除碎片过程中,实时获取目标碎片靶材的多维等离子体光谱信息,将其输入训练好的所述冲量预测模型,从而快速预测冲量。本申请解决了现有技术中冲量数据获取困难、速度慢以及时间长的问题,为激光清除碎片的实时调整和高效控制提供关键技术支持,具有原理清晰、泛化能力强、实时性高、精确度高等优点。
技术关键词
激光烧蚀装置
光谱测量装置
数据采集单元
数据处理单元
波长
光谱采集装置
强度
激光光源
神经网络方法
参数
机器学习模型
探测器
靶材
转轮
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波片
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