应用于半导体仿真软件的自动化仿真方法、装置及介质

本申请提供的应用于半导体仿真软件的自动化仿真方法、装置及介质，当检测到实验用户触发仿真请求时，平台可以调用EBL BEAMER仿真机器人与实验用户进行交互，并在交互过程中获取本次仿真所需的工艺参数，然后通过EBL BEAMER仿真机器人根据工艺参数获取并执行对应的仿真流程后，输出仿真结果。该过程将复杂难记的操作步骤使用机器人替代执行，节省了科研人员精力，且可以自动连续执行多个重复流程，自动修改参数变量，从而消除了科研人员等待仿真计算的时间，并节约机时和科研成本，另外，本申请的自动化仿真方法还可以与半导体设备虚拟仿真教学相结合，实现软硬件全流程数字化教学，变革传统的教学模式。