光学膜厚实时拟合光亮值方法及系统、监控系统及方法

本申请提供一种光学膜厚实时拟合光亮值方法及系统、监控系统及方法，应用于光学薄膜厚度监控仪及薄膜镀制过程中的判停技术领域，其中，采用光电极值法构建数学模型；对膜厚监控的透射曲线进行实时同步拟合，计算膜厚极值点以及目标厚度对应的停镀点，进行判停处理，实现系统有效准确的判停处理，监控系统精准度大于99.5％，因此，本申请的光学膜厚实时拟合光亮值公式，不仅在原有基础上提高了控制精度和判停准确度，能够更广泛地适用于各种镀膜场景，展现出更强的实用性和通用性。