带精准力控的芯片姿态自适应键合机构、方法和系统

本发明公开了一种带精准力控的芯片姿态自适应键合机构、方法和系统。带精准力控的芯片姿态自适应键合机构包括恒力机构、快速进给驱动装置和微动装置。恒力机构包括正刚度机构、负刚度机构、第一输出件和第二输出件，第二输出件活动设于第一输出件上且具有相对位移值；正刚度机构和负刚度机构并联以使第二输出件在预设相对位移范围内的输出力恒定；快速进给驱动装置用于驱动恒力机构在第一方向上移动，微动装置用于驱动第一输出件在第一方向上移动；当相对位移值在预设相对位移范围内时，微动装置打开，快速进给驱动装置关闭。本申请可以提供恒定的键合力，提高对键合力的控制精度和键合力的稳定性，简化了芯片键合的控制流程，提高效率。