一种IGBT模块散热板结构及其加工工艺

本发明公开了一种IGBT模块散热板结构及其加工工艺，涉及功率半导体散热领域，包括金属底板和针翅，金属底板的上表面设有多排针翅，金属底板的外侧边缘均匀开设有若干个连接孔，金属底板的另一面焊接有IGBT功率芯片；步骤一、基板生产；步骤二、表面处理；步骤三、放置及清洁，将加工后的基板依次放置在清洗箱内的放置机构中，由夹持组件对金属底板进行夹持，此时旋转组件工作，带动夹持的金属底板进行左右的往复式转动，接着超声波发生器工作将纯水作为媒介对金属底板以及针翅进行清洁；步骤四、烘干。本申请能够使得金属底板在清洗过程中不断改变位置和角度，进一步增强了清洗效果，确保表面的清洁度。