HDPCVD机台喷嘴位置排列方法、系统、设备及可读存储介质

本发明提供了一种HDPCVD机台喷嘴位置排列方法、系统、设备及可读存储介质。该方法包括步骤：根据喷嘴的数量和喷嘴与晶圆上对应位置点的膜厚贡献值，初始化蚁群算法的蚂蚁数量和二维信息素矩阵；根据蚂蚁数量、二维信息素矩阵和概率选择公式，构建解空间，解空间中的解为喷嘴排列位置；在不满足蚁群算法的迭代停止条件的情况下，根据第一关系式更新二维信息素矩阵中的信息素，并返回构建解空间；在满足蚁群算法的迭代停止条件的情况下，得到解空间中的最优解，最优解为喷嘴的排列位置可使晶圆的膜厚均匀性最佳。本发明可减少实际操作更换喷嘴位置的时间，提高更换喷嘴位置的效率，降低喷嘴更换成本。