一种硅光芯片的检测系统

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一种硅光芯片的检测系统
申请号:CN202510511125
申请日期:2025-04-23
公开号:CN120047439B
公开日期:2025-08-05
类型:发明专利
摘要
本发明涉及光学测试技术领域,具体为一种硅光芯片的检测系统,包括结构视角调控模块、反射异常捕捉模块、方向错位验证模块、响应分布平衡模块、以及结构状态标定模块。本发明中,通过图像中灰度差值与连续亮度变化点的提取,结合突跳边界识别与切平面构建,实现对微结构突变区域的精准定位与入射方向提取,旋转采集方向以抑制灰度波动,提升边缘对准图层的光学稳定性,采集亮度扩展轨迹并识别断裂位置,结合扩散幅度差异筛选反射异常点,有效增强对非均质反射的识别能力,排列亮度走向并进行夹角计算,提取方向连续偏移轨迹,实现方向性偏差的动态建模,计算结构内外光照差值并比对轮廓路径,提升对边界响应演化与异常轮廓分布的判别精度。
技术关键词
子模块 硅光芯片 代表 芯片结构 图像灰度值 初始轮廓 光照 光学测试技术 邻域 形态 像素亮度值 指标 标记 轨迹结构 影像
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