摘要
本发明提供一种快速定位月壤样品中高镁物质的方法,属于月球物质分析技术领域。将月壤粉末样本包埋于环氧树脂靶,进行打磨、抛光、碳镀膜;将月壤粉末的树脂靶样品、金属钴标样和定量标准物质放置于扫描电镜样品室中;采集待测样品的背散射电子图像BSE;进行定量分析设置;进行自动化背散射图像拼图;通过边缘计算技术,在扫描过程中实时处理数据,自动生成元素分布图,并完成能谱面扫描拼图;对能谱面扫描结果进行自动相分离;进行Mg#值计算,并对不同Mg含量的化学成分进行分类着色;随机选取部分高镁物质颗粒,进行二次能谱分析与扫描电镜采图;通过反馈机制优化算法参数。本发明显著提升了高镁物质的分析效率和准确性。
技术关键词
背散射电子图像
环氧树脂靶
扫描电镜样品
边缘计算技术
物质分析技术
拼图
元素
计量学方法
像素点
金刚石磨料
镁橄榄石
镀膜
粉末
抛光
聚类算法
分辨率
数据