一种面向芯片的聚焦型声流散热装置

本发明公开了一种面向芯片的聚焦型声流散热装置；属于超声技术与散热技术交叉领域，由压电叠堆、声透镜、分流板、底座、支撑杆及铜电极等设备构成；该装置通过优化分流板与压电叠堆、声透镜的几何参数配置，采用双压电片堆叠结构增强超声谐振效应；在压电叠堆两端的铜电极施加高频交变电压，利用逆压电效应激发高频声波，声波经声透镜聚焦后，在分流板与压电叠堆构成的腔室内形成梯度声压场；基于声流效应驱动空气分子定向运动，使进气口气流经声压加速后，于出气口形成高流速的聚焦射流，实现对芯片热源的靶向强制对流散热。本装置将超声技术与散热技术相结合，整体装置结构简单、无运动部件且噪音低，且能通过阵列的方式满足多种散热需求。