一种多自由度平面电机永磁阵列动子位置检测装置及方法

本发明公开了一种多自由度平面电机永磁阵列动子位置检测装置及方法，涉及平面电机技术领域，所述永磁阵列动子位姿检测装置包括：印制电路板霍尔传感器阵列、霍尔传感器阵列固定板、非导磁支撑柱、永磁阵列动子、动子转接板、Z轴旋转定位平台、X轴旋转定位平台、Y轴旋转定位平台、Z轴移动定位平台、Y轴移动定位平台、X轴移动定位平台、光学定位平台转接板以及高精度光学定位平台。其中霍尔传感器按照规律均匀排布在PCB上；动子包括四组永磁阵列，由若干块不同充磁方向的永磁体按规律排列而成。所述平面电机永磁阵列动子位姿检测装置测量精度高，结构简单，具备自由可扩展性，成本低，易控制，使用便捷。