一种复合热沉及其制备方法、半导体激光器

本申请涉及半导体制备技术领域，并提供一种复合热沉及其制备方法、半导体激光器。制备方法包括将超顺排单壁碳纳米管贴附在第一金属层的第一表面；在第二表面贴附保护层；在超顺排单壁碳纳米管的表面电镀第二金属层，以形成复合结构；重复N次制备复合结构；去除保护层和第一金属层，得到第一热沉结构；与第二热沉结构键合，得到复合热沉。该制备方法能够发挥超顺排单壁碳纳米管轴向高热传导特性，且利用第二金属，提高第一热沉结构和第二热沉结构之间的键合效果将其作为热沉应用至半导体激光器中，可以提高半导体激光器中热量沿平面方向的传导速率，减低界面热阻，提高散热能力，保证半导体激光器的可靠性和使用寿命。