一种高dv/dt的可控硅集成芯片及其制造方法

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正文
推荐专利
一种高dv/dt的可控硅集成芯片及其制造方法
申请号:CN202510518737
申请日期:2025-04-24
公开号:CN120035205B
公开日期:2025-06-24
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种高dv/dt的可控硅集成芯片及其制备方法,包括N‑型衬底,所述N‑型衬底上表面设置有第一P型扩散区、第二P型扩散区和第三P型扩散区,所述第三P型扩散区上下两端设置有第一P‑型扩散区和第二P‑型扩散区,所述第二P型扩散区上表面靠近所述第一P型扩散区的一侧设置第一N+型扩散区,所述第一P‑型扩散区上表面设置有第二N+型扩散区,所述第二P‑型扩散区上表面的一端设置有两个第三N+型扩散区;本发明可以承受工业领域中高频开关引起的电压尖峰,防止误触发,减少了对外围保护电路的需求,减少电路设计成本以及降低电路功耗;光触发可控硅的设计可以将输入侧与输出侧进行电气隔离,提高抗干扰能力。
技术关键词
集成芯片 氧化层 阴极电极 氮化硅 衬底 金属铝 引线 阳极 高频开关 电阻 有源区 层厚度 薄膜 斜角 光刻 电路 功耗 电气
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