摘要
本发明公开了一种高dv/dt的可控硅集成芯片及其制备方法,包括N‑型衬底,所述N‑型衬底上表面设置有第一P型扩散区、第二P型扩散区和第三P型扩散区,所述第三P型扩散区上下两端设置有第一P‑型扩散区和第二P‑型扩散区,所述第二P型扩散区上表面靠近所述第一P型扩散区的一侧设置第一N+型扩散区,所述第一P‑型扩散区上表面设置有第二N+型扩散区,所述第二P‑型扩散区上表面的一端设置有两个第三N+型扩散区;本发明可以承受工业领域中高频开关引起的电压尖峰,防止误触发,减少了对外围保护电路的需求,减少电路设计成本以及降低电路功耗;光触发可控硅的设计可以将输入侧与输出侧进行电气隔离,提高抗干扰能力。
技术关键词
集成芯片
氧化层
阴极电极
氮化硅
衬底
金属铝
引线
阳极
高频开关
电阻
有源区
层厚度
薄膜
斜角
光刻
电路
功耗
电气