摘要
感光性树脂组合物、以及使用其的固化浮雕图案的制造方法、固化膜及聚酰亚胺膜的制造方法。[课题]本公开的目的在于,提供在高温固化时得到高的铜密合性、b‑HAST试验中的铜迁移少、即长时间不发生短路、且分辨率高的感光性树脂组合物,以及使用了该感光性树脂组合物的固化浮雕图案的形成方法、固化膜及聚酰亚胺膜的制造方法。[解决手段]提供含有聚酰亚胺前体和/或聚酰亚胺树脂、具有特定的杂环结构的化合物和光聚合引发剂的感光性树脂组合物、以及使用了该感光性树脂组合物的固化浮雕图案的形成方法、固化膜及聚酰亚胺膜的制造方法。
技术关键词
感光性树脂组合物
固化浮雕图案
聚酰亚胺树脂
感光性树脂层
酰胺
氨基
聚酰亚胺前体
二价有机基团
杂环化合物
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结构单元
硝基
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表面保护膜
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杂环结构
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