一种国产芯片过程控制站在线监控系统及方法

本发明涉及芯片制造监控领域，尤其涉及一种国产芯片过程控制站在线监控系统及方法，包括通过传感器和数据采集卡实时采集芯片制造过程中的参数，根据预处理后的芯片生产过程相关数据信息，建立芯片不良识别神经网络模型，输出分析预测结果；根据芯片制造工艺以及原料、芯片生产设备、基础材料因素计算刻蚀速率校正参数，根据刻蚀速率校正参数与预设刻蚀速率校正参数对照系数的比对结果，对刻蚀速率进行调整，并根据实际刻蚀速率动态变化量与标准刻蚀速率动态变化量的对照结果对刻蚀速率进行精化；根据精化后得到的刻蚀速率，通过自动化检测和反馈机制对刻蚀残留物进行监测。