摘要
本发明提供了一种蜂窝金刚石光模块屏蔽罩及其制备方法,屏蔽罩包括双层型结构;双层型结构的上层为金属薄片;双层型结构的下层为蜂窝状金刚石;金属薄片和蜂窝状金刚石是利用纳米银低温烧结工艺进行连接的;蜂窝状金刚石包括多个相互连接的蜂窝单元;蜂窝单元之间形成通风通道。本发明能大幅度减少电磁辐射及电磁信号到达芯片对芯片造成影响,并且提高散热能力。蜂窝金刚石层结构内部有许多小的蜂窝单元,这些小单元之间形成了通风通道,有利于空气自由流动,当材料受热时,空气在这些通道中流动,带走材料表面的热量。
技术关键词
金刚石
蜂窝状
低温烧结工艺
光模块
长方体结构
薄片
纳米银
气相沉积法
通风
蜂窝芯
通道
抛光
粗糙度
芯片
长方形
空气
电磁
激光
信号