摘要
本申请公开了一种基板凸点加工方法、封装基板及封装结构,涉及半导体技术领域,该基板凸点加工方法包括:基于基板的翘曲度信息,对基板上涂覆的阻焊层进行阻焊开窗,得到至少两种不同开口尺寸的阻焊开口;分别将每个阻焊开口对应植入焊球,并通过回流焊使植入的焊球与焊盘连接,并对各个焊球对应形成的凸点进行压平处理;在阻焊层所处的基板表面呈凹面翘曲的情况下,中心区域处的阻焊开口的第一开口尺寸,小于第一外围区域处的阻焊开口的第二开口尺寸;或者,在阻焊层所处的基板表面呈凸面翘曲的情况下,第一开口尺寸大于第二开口尺寸。本申请能够优化大尺寸基板上各个凸点之间的共面度。
技术关键词
开口尺寸
凸点
封装基板
植入焊球
阻焊开窗
封装结构
凸面
大尺寸基板
凹面
助焊剂
涂覆
分区
芯片
焊盘
压头
参数
压力