一种基于机械手臂和超高分辨率光学相干断层扫描成像系统的大型光学元件检测方法

本发明涉及一种基于机械手臂和超高分辨率光学相干断层扫描(OCT)成像系统的大型光学元件检测方法。该方法结合了超高分辨率OCT技术和多关节机械手臂，实现了对大型光学元件的高精度、大范围检测。通过OCT系统的高分辨率成像能力，能够有效无接触地识别光学元件内部外部微米级的缺陷，通过六轴机械臂的灵活运动能力和三维图像拼接算法，能够对复杂曲面光学元件进行三维形貌进行还原和分析，从而提高检测效率和准确性。本发明在光学元件质量控制和工业检测领域具有重要应用价值。