芯片或晶圆以及用于探测芯片或晶圆的系统

芯片或晶圆具有至少两个导电对准标记，至少两个导电对准标记与探针卡上的至少两个导电探针接触。至少两个导电对准标记各自具有电信号，该电信号可从对准标记传递到导电探针。两个电信号可以具有彼此不同的电压水平或不同的信号频率。电信号用于计算芯片或晶圆相对于探针卡的旋转偏差和/或横向偏差，以进行精确的晶圆对准。