一种时间拉伸傅里叶变换光频梳形貌测量系统和方法

本申请提供的一种时间拉伸傅里叶变换光频梳形貌测量系统和方法，包括光学频率梳OFC、干涉仪模块、色散光纤模块、信号检测模块和同步控制模块；光学频率梳OFC为所述干涉仪提供入射光束；干涉仪模块通过调整单模光纤长度，得到所述被测物体的干涉信号；色散传输模块通过单模光纤对所述干涉信号进行时间拉伸，生成时域干涉信号；信号检测模块捕获拉伸后的时域干涉信号，并通过时‑频变换算法解算所述被测物体形貌参数；同步控制模块通过运动控制卡驱动承载所述被测物体的二维位移台，并触发对被测物体的三维形貌数据的同步采集与存储。本申请在形貌测量上具有足够高的精度，其检测速度也能满足工业实时检测的需求。