一种半导体封装基板及其制备方法

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一种半导体封装基板及其制备方法
申请号:CN202510531302
申请日期:2025-04-25
公开号:CN120072792A
公开日期:2025-05-30
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种半导体封装基板及其制备方法,涉及半导体器件技术领域,封装基板包括:第一基板层、第二基板层和基座,第一基板层的中部设置有第一配合通槽,基座嵌合在第一配合通槽内;第二基板层的中部设置有口框镂空通槽,第二基板层对应叠合在第一基板层上,且第二基板层基于口框镂空通槽与第一基板层配合形成槽口结构;槽口结构内设置有容纳芯片的固晶区域,基座和第一基板层的部分线路结构位于槽口结构内。通过在第一基板层的第一配合通槽内埋嵌基座,通过基座、第一基板层和第二基板层的线路排布代替焊线连接,优化封装工艺,同时降低寄生效应、减少开关损耗和导通损耗,提高大功率芯片器件的工作稳定性。
技术关键词
半导体封装基板 槽口结构 陶瓷基座 焊盘 导电粘接材料 布线结构 线路结构 激光打孔工艺 半导体器件技术 通孔 大功率芯片 拼板结构 板材 开槽工艺 封装工艺 金属材料
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