摘要
本发明公开了一种半导体封装基板及其制备方法,涉及半导体器件技术领域,封装基板包括:第一基板层、第二基板层和基座,第一基板层的中部设置有第一配合通槽,基座嵌合在第一配合通槽内;第二基板层的中部设置有口框镂空通槽,第二基板层对应叠合在第一基板层上,且第二基板层基于口框镂空通槽与第一基板层配合形成槽口结构;槽口结构内设置有容纳芯片的固晶区域,基座和第一基板层的部分线路结构位于槽口结构内。通过在第一基板层的第一配合通槽内埋嵌基座,通过基座、第一基板层和第二基板层的线路排布代替焊线连接,优化封装工艺,同时降低寄生效应、减少开关损耗和导通损耗,提高大功率芯片器件的工作稳定性。
技术关键词
半导体封装基板
槽口结构
陶瓷基座
焊盘
导电粘接材料
布线结构
线路结构
激光打孔工艺
半导体器件技术
通孔
大功率芯片
拼板结构
板材
开槽工艺
封装工艺
金属材料