一种基于高温诱导的波导改性方法

本发明公开了一种基于高温诱导的波导改性方法，包括：采用光子集成芯片，包括：衬底和波导；在所述波导上施加高温，得到改性波导。本发明方法通过对波导局部区域施加高温调节，实现对波导材料折射率的精确调控，从而永久性补偿光电器件的制造误差。相较于传统的持续热调补偿方法，本发明在补偿完成后无需持续供能，显著降低能耗。此外，本发明在补偿过程中对器件的影响极小，几乎不会引入额外损耗，从而维持了器件性能。本发明特别适用于大规模光电器件的精确校准，在集成光学领域具有重要的实用价值。