一种新型电离真空计热阴极灯丝损伤状态监测装置及方法

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一种新型电离真空计热阴极灯丝损伤状态监测装置及方法
申请号:CN202510544826
申请日期:2025-04-28
公开号:CN120333697A
公开日期:2025-07-18
类型:发明专利
摘要
本发明适用于热阴极电离真空规灯丝寿命预测与监测领域,提供了一种新型电离真空计热阴极灯丝损伤状态监测装置及方法,包括损伤装置和状态监测装置,其中,所述损伤装置包括手摇数显滑台、第一至第四法兰螺母、短压板、第一螺杆、第二螺杆、铱‑氧化钇灯丝、十字滑台、长压板、面包板、螺母和刀具固定夹;所述状态监测装置包括分子泵组、真空阀门、冷阴极电离真空计、真空腔室、热阴极电离真空、控制器、上位机、高速摄影机。本发明提供的损伤系统操作过程完全满足对灯丝的涂层宽度和灯丝的深度损伤,精度较为准确。并且可以观察在灯丝工作过程中灯丝表面的变化,并能通过在实验过程中的图像信息进行处理的基础上,对其进行实时的损伤检测。
技术关键词
状态监测装置 灯丝 法兰螺母 热阴极电离真空计 冷阴极电离真空计 状态监测方法 高速摄影机 真空阀门 神经网络预测模型 十字滑台 氧化钇 手摇 分水岭算法 面包板 压板 真空腔室 边缘检测技术 螺杆
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