基于力学-电学协同分析的柔性压力传感器的制备方法

本发明公开了基于力学‑电学协同分析的柔性压力传感器的制备方法，涉及柔性电子传感技术领域，包括以下步骤：S1：建立电容式压力传感器模型；S2：对电容式压力传感器进行有限元仿真；S3：分别分析不同微结构、层高和阵列间距对电容式压力传感器性能的影响；S4：评估性能指标；S5：确定最优微结构参数；S6：制备电容式压力传感器，对电容式压力传感器进行性能对比与实测验证；通过固体力学与静电学耦合仿真方法进行参数化扫描，确定最佳几何参数组合，从而建立微结构形变与电容响应的定量关联模型，揭示了堆叠金字塔微结构通过分级接触机制实现电容响应放大的物理本质，提高了柔性压力传感器的测量灵敏度和测量量程。