摘要
本发明提供一种多层波导结构的光学分束器及其应用,包括多个波导芯层和包层,多个波导芯层分别在不同水平面内延伸且在垂直方向上彼此间隔开以限定从光接收端沿光学分束器的长度方向延伸的多个平行波导路径,多个波导芯层包括中间波导芯层和相邻的上、下波导芯层,中间波导芯层通过其与上、下波导芯层之间的倏逝场将光信号耦合并输入至上、下波导芯层,上波导芯层和下波导芯层远离光接收端的端口连接至分隔的光输出端。本发明提供的光学分束器在确保分束能力的前提下,实现小尺寸、紧凑布局的分束结构,能够充分利用芯片空间,有利于提升光子集成芯片的集成度和紧凑性。
技术关键词
光学分束器
波导结构
接收端
包层材料
集成激光雷达
光子集成芯片
光开关
小尺寸
二氧化硅
信号
氮化硅
对称轴
线性
输出端
端口
布局
速率
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