摘要
本发明提供一种全集成分子荧光检测平台,该平台包括周期性重复的多个子单元,每个子单元包括自上而下依次设置的荧光激发层、荧光收集层与荧光探测层,其中,荧光收集层包括滤波结构与荧光串扰抑制结构,滤波结构用于阻隔激光并使荧光波段的信号通过,荧光串扰抑制结构包括光阑结构、隔离结构及分布式布拉格反射器层中的任意一种或组合,且荧光串扰抑制结构设置于滤波结构的两侧、上方、下方中的至少一者,或者荧光收集层还包括微透镜结构,荧光串扰抑制结构设置于微透镜结构的两侧、滤波结构的两侧、上方及下方中的至少一者。本发明为生物样本荧光信号的检测提供了一种全集成荧光检测方案,结构相对精简而有效,有助于简化工艺,优化成本。
技术关键词
串扰抑制结构
滤波结构
光阑结构
分布式布拉格反射器
荧光
检测平台
波导光栅滤波器
周期光栅结构
微透镜结构
平板波导
波导光栅结构
隔离结构
CMOS图像传感芯片
分子
波导结构
周期性重复
菲涅尔透镜结构
样本
阵列