一种基于晶圆级二维工艺的抗辐照变压器

本发明属于集成电路技术领域，具体为一种基于晶圆级二维工艺的抗辐照变压器。变压器在射频电路等方向有广泛应用，本发明提出一种基于晶圆级二维工艺的抗辐照变压器，其采用抗辐照高阻材料作为衬底，可以提高变压器的抗辐照能力，同时与二维抗辐照电路的制备工艺兼容，为后续抗辐照射频电路及芯片的实现奠定变压器器件基础。其模型包括电感、寄生电容与电阻，能在较宽频率范围准确描述变压器特性，并根据二维有源器件的设计来设计变压器，保证变压器与二维有源器件匹配和兼容。最后根据变压器版图设计，采用二维工艺制造抗辐照变压器。本发明为太空通信系统等应用场景提供了更适配的变压器方案。