基于高速线扫描的多维度拉曼光谱原位分析系统及方法

本发明涉及材料原位分析技术领域，具体为基于高速线扫描的多维度拉曼光谱原位分析系统及方法，包括激光焦点稳定单元、材料信号配准单元、关联分析单元、背景校正单元和材料特性解析单元。本发明通过采集纳米位移台的位置坐标计算位置漂移向量，结合卡尔曼滤波得到预测位置漂移向量，执行动态焦点补偿；获取材料分析信号并进行预处理和配准得到配准材料分析信号；构建双路分析网络处理配准材料分析信号，得到光谱－结构关系模型；根据配准拉曼散射光谱确定背景贡献权重和背景干扰信号，获得清洁拉曼散射光谱；本发明解决了信噪比下降和数据误差大的问题，有助于得到准确的材料结构和晶界分析结果。