一种光学晶体缺陷检测方法及系统

本发明涉及晶体检测技术领域，具体涉及一种光学晶体缺陷检测方法及系统，该方法包括：先对待测光学晶体进行预处理得到SEM样品并进行SEM图像采集得到SEM晶体图像，再对同一个待测光学晶体进行预处理得到TEM样品并进行TEM图像采集得到TEM晶体图像；将SEM晶体图像和TEM晶体图像一一配对得到光学晶体图像对并进行图像预处理，包括灰度化、去噪和归一化处理；对预处理后的光学晶体图像对进行特征提取和特征匹配，建立光学晶体图像对之间的空间对应关系；设定合理的差异阈值识别缺陷区域并进行缺陷定位和分类。本发明通过联合SEM和TEM，实现对光学晶体从表面到内部的全面、高效的缺陷检测，提高光学晶体检测的准确性。