一种基于晶圆级二维工艺的抗辐照天线电感

本发明属于集成电路技术领域，具体为一种基于晶圆级二维工艺的抗辐照天线电感。采用高阻抗辐照的蓝宝石作为衬底，提高天线电感的抗辐照能力，同时与二维抗辐照电路的制备工艺兼容。根据二维有源器件的设计和谐振频率来设计天线电感的尺寸参数，保证天线电感与二维有源器件匹配。本发明为太空通信系统等应用场景提供了更适配的天线电感方案。本发明所提出的基于晶圆级二维工艺的抗辐照天线电感，凭借其独特的衬底材料选择和合理的尺寸参数设计，为太空通信系统等对天线电感抗辐照性能和与其他电路部件兼容性有较高要求的应用场景，提供了更为适配、可靠的天线电感方案。这一方案的出现，将有助于推动太空通信等领域的技术发展，提升相关设备在复杂环境下的性能和可靠性。