多通道跨工位对焦方法、设备及介质

本申请公开了一种多通道跨工位对焦方法，包括：在第一工位扫描被测物时，同步获取被测物表面的三维高度轮廓数据；将三维高度轮廓数据进行插值处理，生成与第二工位扫描路径相匹配的预测高度数据；基于预先标定的坐标系转换矩阵，将预测高度数据映射至第二工位坐标系，得到映射后的高度数据；在第二工位扫描过程中，结合映射后的高度数据与机械系统误差修正量，驱动Z轴执行机构实现动态对焦补偿。本申请通过在第一工位扫描时，同步预扫描被测物表面的三维高度轮廓数据，再通过插值处理、坐标系转换和误差修正等操作，把对焦数据传给第二工位，从而在第二工位处无需再执行用于高度测量的预扫描工序，由此缩短晶圆检测周期，有效提升晶圆检测效率。