辅助图形的生成方法、装置、设备、介质及产品

本申请公开了一种辅助图形的生成方法、装置、设备、介质及产品，涉及半导体集成电路技术领域。该方法包括：获取目标像素图像，目标像素图像为待生成辅助图形的目标掩模图形所在的图形区域所构成的像素图像；根据目标像素图像，确定目标掩模图形对应的目标区域；提取目标区域中满足预设筛选条件的像素点，作为种子点；基于种子点，生成目标掩模图形的目标辅助图形。本申请提供的辅助图形的生成方法，能够提高光刻的成像质量。