真空镀膜机中改善薄膜厚度均匀性的行星夹具设计方法

本申请公开了一种真空镀膜机中改善薄膜厚度均匀性的行星夹具设计方法，涉及真空镀膜的技术领域。一种真空镀膜机中改善薄膜厚度均匀性的行星夹具设计方法，包括：S1、建立数学模型；S2、确定影响因素，进行运动模拟；S3、优化调整参数，再次进行运动模拟。本申请能够通过实现对行星夹具本身进行设计上的优化来改善薄膜厚度的均匀性。