一种具有多级半球结构的柔性压力传感器及其制备方法

本发明公开了一种具有多级半球结构的柔性压力传感器及其制备方法，其中传感器包括电极层、以及从上到下依次设于电极层下方的上摩擦层、分隔层和下摩擦层，所述分隔层用于提供所述上摩擦层和下摩擦层充分接触分离的空间，所述下摩擦层由柔性薄膜表面构建的多级半球结构形成。其显著效果是：得益于摩擦电传感机制的特点，具有可自供电、输出稳定和结构简单的优点，同时通过多级半球结构的下摩擦层表面微结构，使传感器的上下摩擦层在压力的作用下逐级接触，增强了可压缩性并优化了传感器的接触和分离过程，从而提高了传感器的灵敏度。