一种EFEM控制系统

本发明公开了一种EFEM控制系统，该EFEM控制系统中，EFEM测控软件单元、Robot控制单元、LoadPort控制单元、Aligner控制单元、OCR检测单元均以ARM微处理器为自己的主控芯片，均通过在ARM微处理器中构建嵌入式Linux系统和嵌入式RT_Linux系统，在所述嵌入式RT_Linux系统中配置Xenomai实时内核用于实时控制；且每个ARM微处理器均具有SSD、DDR4、供电结构、调试接口等基本模块。本发明提供的一种EFEM控制系统具有在嵌入式RT_Linux系统中配置Xenomai实时内核实现功能模块控制过程所需实时控制功能。所述EFEM控制系统的五个核心功能单元模块采用FastDDS通信中间件构建分布式通信网络，实现所述五个功能单元之间数据的高速稳定传输，且性能稳定可靠，架构简单。