一种用于湿度传感器温度漂移机制研究的测试方法及装置

本发明公开一种用于湿度传感器温度漂移机制研究的测试方法及装置，应用于电子与电路领域，针对现有技术尚未对湿度传感器的温度漂移机制进行全面而精确的研究的问题；本发明通过自研的高精度小型化阻抗测量仪，在不同温度条件下采集湿度传感器的阻抗谱信息。基于阻抗谱信息，拟合等效电路模型并量化电路元件参数，结合不同温度条件下的等效电路模型组合及电路元件参数变化，深入分析湿度传感器的温度漂移机制。