一种多芯片层叠封装结构及封装方法

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一种多芯片层叠封装结构及封装方法
申请号:CN202510561057
申请日期:2025-04-30
公开号:CN120089609A
公开日期:2025-06-03
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种多芯片层叠封装结构及封装方法,所述方法包括:提供底部具有微凸点的第一芯片和顶部微凹点与微凸点对应的基板;分别在微凸点表面与微凹点内均匀涂覆焊料与焊料增强剂;分别在基板顶面与第一芯片底面涂覆PCM,并通过贴片机将微凸点与微凹点对应后,对第一芯片与基板压合;通过微波对压合着的微凸点与微凹点连接处进行焊接,对焊料与焊料增强剂控温固化;待固化的焊料与焊料增强剂冷却形成焊点结构后,得到封装结构;在封装结构层叠第二芯片,并通过微波焊接法将封装结构层叠与芯片焊接,在层叠焊接预计数量第二芯片后得到多芯片层叠封装结构;所述微波焊接法的步骤与前述步骤相同。本发明解决了因温度不均导致的应力集中问题。
技术关键词
焊料 封装结构 涂覆 微波 喷涂机 焊点结构 贴片机 基板 丝网模版 芯片层叠封装 松香基助焊剂 光学对准系统 芯片焊接 封装方法 丝网印刷设备 丝网印刷机
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