基于线阵扫描与最小二乘下采样算法的晶圆圆心定位方法

本发明涉及基于线阵扫描与最小二乘下采样算法的晶圆圆心定位方法，包括以下步骤：S1、通过线阵扫描获取晶圆包含圆弧段和缺口区域的离散采样点集；S2、通过下采样策略对所述离散采样点集进行自适应降采样，得到下采样后的采样点集；S3、构建线性方程组利用最小二乘原理求解得到晶圆的圆心坐标(xc，yc)，并以预设的理想圆心位置为参考基准，计算圆心偏移量△x＝xc‑xo，△y＝yc‑yo；其中，△x表示圆心在x方向上的偏移量，△y表示圆心在y方向上的偏移量；S4、若步骤S3中得到的圆心偏移量小于等于预设的阈值，则进入后续的缺口定位步骤；反之，则启动预设的报警流程。