一种芯片表面缺陷检测装置及方法

本发明公开了一种芯片表面缺陷检测装置及方法，芯片表面缺陷检测装置包括工作台、检测组件和芯片固定组件；检测组件和芯片固定组件安装在工作台上端面；芯片固定组件包括固定架、固定板和振动电机；固定架上设置有若干弹簧，固定板与弹簧远离固定架的一端固定连接，固定板上设置有若干个与待检测的芯片配合的固定槽，振动电机与固定板连接用于带动固定板发生振动，固定板的四个侧边设置有限位框；检测组件可移动到固定架的正上方对芯片固定组件内的芯片进行拍照并对拍摄得到的照片进行图像检测。本发明的芯片固定组件内的振动电机带动固定板振动的过程中固定板上的一部分芯片会落入到固定槽内，从而实现对芯片的自动定位，提升了检测效率。