一种晶圆芯片预扫描定位方法及系统

本发明公开了一种晶圆芯片预扫描定位方法及系统，实现相机中心与晶圆中心的定位操作，而后确定实现晶圆上芯片扫描的起始点，确定后续的扫描路径、扫描移动的步距以及扫描移动的方向，本发明涉及半导体制造技术领域。该晶圆芯片预扫描定位方法及系统，通过对图像的采集操作，并对采集的图像数据按顺序排列形成图像数据集，依据灰度值确定图像数据中的芯片特征，并结合坐标设定实现对图像数据中的特征部分进行剔重操作，并对各芯片实现重新定位组合形成完整的MAP数据，以此能够有效的确定出对应的芯片特征，并且更高效的判断和实现重复特征的剔除操作，以保障完整MAP数据的快速形成，更好的进行晶圆芯片的扫描定位操作。