摘要
本发明涉及一种用于提高线性度的多模态人工突触及制备方法,多模态人工突触包括透明衬底、设于所述透明衬底上的源极、漏极以及位于所述源极和所述漏极之间的沟道层,覆盖所述源极、所述漏极和所述沟道层的离子导电层,以及设于所述离子导电层上的透明栅极,所述沟道层是由层叠设置的MoS2薄膜层和VO2薄膜层制备而成的,所述离子导电层是由PVA‑H3PO4凝胶组成。该多模态人工突触能实现电、光、热多场协同调控机制,解决了单一调控模式的局限性,且通过电、光、热多场协同调控机制提升了突触晶体管权重调节的线性度。
技术关键词
MoS2薄膜
透明玻璃基材
离子导电
VO2薄膜
线性
薄膜层
脉冲激光设备
衬底
电子束蒸发镀膜
突触晶体管
磁控溅射设备
气相沉积设备
去离子水
栅极
多模态
溶液
氢气
凝胶
氢氟酸