一种基于时延效应的电容薄膜真空计控温方法

本发明为一种基于时延效应的电容薄膜真空计控温方法，包括以下步骤：采集目标设备的多个时间片数据，每个时间片包含此时的温度T和功率p，采集的数据集分为求解集和验证集；建立时延转化模型，量化功率转化的延迟效应为ts时间片，并定义转换系数设定温度恒定功率x以及时间片ts作为函数超参数；利用AI算法和求解集，得到转化系数超参数x、ts以及求解得到的转化系数在验证集上进行验证，得到实际温差，预测温差与实际温差作为评估的指标；把最接近预测温差的实际温差作为优选，根据得到该实际温差的各个参数，对电容薄膜真空计进行PID控制；以减少设定温度与实际温度之间的差异，通过该优化算法，能够将每个产品的温度波动控制在±0.01℃以内。