一种基于RCWA算法优化的量测设备调整方法及系统

本发明提出一种基于RCWA算法优化的量测设备调整方法及系统，基于预设待测量结构，得到基准光谱和若干阶数电场；基于若干阶数所述电场，得到阶数重要性排序；基于所述阶数重要性排序，得到近似光谱；基于所述基准光谱，调整近似光谱阶数比例，得到阶数选择结果；基于所述阶数选择结果和预设RCWA算法，得到优化RCWA算法，以对量测设备参数进行调整。本发明实现考虑阶数重要性，灵活调整RCWA算法中傅里叶展开阶数选择，以调整设备测量参数，提高设备测量结果可靠性。