一种宽量程集成拉力和压力传感器

本发明公开了一种宽量程集成拉力和压力传感器，包括弹性体外壳、集成光电芯片、支撑层。弹性体外壳设置在支撑层上，并与支撑层的表面形成中空腔体。弹性体外壳的顶部为平坦面，作为传感器的受力区；弹性体外壳的外表面作为光隔离层，内表面设有折射金属涂层；集成光电芯片设置在支撑层位于中空腔体内的上表面区域。当拉力或者压力作用在弹性体外壳的受力区时，弹性体外壳的形状发生改变，发光二极管发出的光线经弹性体外壳的内表面反射后进入光电二极管，光电二极管根据接收到的光输出对应大小的光电流。其中，中空腔体的形状可为圆柱体、半球体或半椭球体。本发明传感器在减小传感器体积的同时，实现对拉力和压力的检测。