一种用于晶圆级芯片测试的水平运动工作台

本申请涉及芯片测试技术领域，特别涉及一种用于晶圆级芯片测试的水平运动工作台。包括Y向运动模块、X向运动模块、承载底座和反馈测量模块；Y向运动模块能够带动X向运动模块在设定范围内做Y向的直线往复运动；X向运动模块能够带动承载底座在设定范围内做X向的直线往复运动；反馈测量模块包括Y向光栅尺和X向光栅尺，分别用于测量X向运动模块和承载底座的位移距离；反馈测量装置与控制器电连接，通过控制器控制Y向运动模块和X向运动模块的动作。本申请通过对工件台的合理布局，使得其X向运动模块和Y向运动模块结构更为简洁，稳定性好，且运动精度和速度更高。