基于卡尔曼滤波的多视角补偿三维显微测量方法和系统

本发明涉及一种基于卡尔曼滤波的多视角补偿三维显微测量方法和系统，方法包括：以不同的测量视角对同一样品进行测量，并采用三维高斯分布的形式描述测量点云；依次对各个视角下的测量点云进行融合迭代处理，在每轮迭代中，获取当前视角下的测量点云与上一轮的迭代结果的重叠区域，通过叠加位移场的形式对齐重叠区域中两点云的分辨率，得到重采样的迭代结果，以与当前视角下的协方差矩阵计算卡尔曼增益，为具有更低不确定度的方向赋予更高的置信度进行坐标融合，得到融合点云作为输出；根据迭代优化处理获取的结果，得到最终三维显微测量结果。与现有技术相比，本发明具有在扩大空间测量视场的同时，显著提升了原有的轴向测量精度等优点。