抗干扰高灵敏度集成式石英谐振加速度计芯片结构

一种抗干扰高灵敏度集成式石英谐振加速度计芯片结构，包括摆组平台，摆组平台上方连接上摆组件，摆组平台下方连接下摆组件；上摆组件和下摆组件结构组成完全相同，上摆组件和下摆组件关于摆组平台对称布置；上摆组件包括通过胶装配固定的一个石英谐振器和一个金属摆；本发明上摆组件、下摆组件均采用金属摆‑石英谐振器通过贴装完成装配，并与摆组平台完成对准装配，形成“三明治”芯片结构，惯性质量块的质量翻倍，提升了加速度计的灵敏度；在金属摆中设计有环形应力隔离槽和双“C”应力隔离槽，降低了装配残余应力、外界干扰应力、干扰热应力等复杂干扰因素对石英谐振器轴向应力的影响，抑制了温漂和时漂，提升了长期稳定性。