晶圆传输机械手的多自由度校准方法

本发明提供了一种晶圆传输机械手的多自由度校准方法，包括S100、检测机械臂的径向伸缩轴的移动轨迹，对径向伸缩轴进行直线度校准；S200、检测机械臂的翻转轴的水平度，并对翻转轴进行水平度校准；S300、将机械臂与径向对准工装连接；S400、机械臂控制径向对准工装移动至晶圆传送盒内，实现与基准晶圆的粗定位；S500、对机械臂的径向伸缩轴和水平移动轴分别进行位置校准，分别对机械臂的径向伸缩轴和水平移动轴的位置坐标进行标定；S600、检测机械臂的升降轴的基准升降高度。本发明提供的晶圆传输机械手的多自由度校准方法，旨在解决现有校准方法无法实现多自由度的系统性校准，导致容易出现误差累计效应，影响传输精度的问题。