摘要
一种压力传感器以及接触力传感装置,其中所述压力传感器包括:主体部,具有相对的第一侧和第二侧,所述主体部具有连通所述第一侧和所述第二侧的中空部;第一膜片,连接于所述第一侧并封闭所述中空部位于所述第一侧的开口;传感器芯片,连接于所述第二侧并封闭所述中空部位于所述第二侧的开口,所述中空部内填充有传压介质以将所述第一膜片接收到的压力传导至所述传感器芯片;光纤,设置于所述传感器芯片背离所述第一膜片的一侧,所述光纤用于向所述传感器芯片发射探测光信号并接收反馈光信号,所述反馈光信号至少用于表征所述传感器芯片接收到的压力。采用本申请的技术方案,能够提高传感器对力的测量精度和动态力学测量的稳定性。
技术关键词
传感器芯片
压力传感器
传感装置
膜片
待测物体
光信号
光纤
弹簧结构
受电弓
探测光
光电设备
台阶结构
光学准直器
弹簧盒
通孔
压块
往复运动
通道
基座