高分辨率探测磁性材料的超导谐振器及其设计方法

本发明提供了一种高分辨率探测磁性材料的超导谐振器及其设计方法，该方法包括：确定待测磁性材料层；根据待测磁性材料层，确定谐振器的谐振频率；构建仿真模型，仿真模型中包括衬底；形成于衬底的谐振器，谐振器两端形成有位于衬底表面的微波线，微波线形成共面波导，谐振器与所述微波线耦合；谐振器两侧具有位于衬底表面的接地层；根据谐振频率和衬底的材料，确定谐振器的初始空气间隙、初始耦合长度和谐振器的长度；根据仿真模型，采用谐振器的初始空气间隙、初始耦合长度、长度进行仿真，得到谐振器的品质因数；根据品质因数调整初始空气间隙和初始耦合长度，直至谐振器的品质因数满足要求，确定谐振器的空气间隙和谐振器的耦合长度。